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產(chǎn)品等級：電子級6N

六氟化鎢 WF₆

純度：99.9999%
別名：Tungstenfluoride
危險化學品等級：2.3
包裝：20L/40L鋼瓶
CAS NO: 7783-82-6
標識：有毒
充裝量：50KG
UN NO: UN2196
運輸狀態(tài)：液態(tài)氣體
氣體壓力：0.09Mpa
閥門型號：CGA638
接口螺紋：左旋反絲

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產(chǎn)品介紹

在鎢的氟化物中，六氟化鎢是唯一穩(wěn)定并被工業(yè)化生產(chǎn)的品種。它的主要用途是在電子工業(yè)中作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料，特別是用它制成的WSi2可用作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復合涂層，可用于X-射線的發(fā)射電極。此外，六氟化鎢在電子行業(yè)中還主要用作半導體電極和導電漿糊等的原材料。六氟化鎢還有許多非電子方面的應用，例如通過CVD技術使鎢在鋼的表面上生成堅硬的碳化鎢可用來改善鋼的表面性能。它還可用于制造某些鎢制部件，如鎢管和坩堝等。此外，WF₆還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等。

注意事項：

理化特性

化學式		WF₆	危險貨物編號	23025
理化性質	外觀與性狀	無色無臭液體。	溶解性	水解（0℃ 1atm）
	熔點（℃）	2.3℃	液態(tài)密度	13.29kg/m3（1atm21℃）
	沸點（℃）	17.2℃	臨界溫度（℃）	169.85℃
毒性及健康危害	侵入途徑	吸入。
	健康危害	遇潮濕、空氣或水分解，散發(fā)也劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。該品對眼睛、皮膚和粘膜能引起非常嚴重的燒傷。
	急救方法	吸入時，迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，如呼吸停止，立即進行人工呼吸，就醫(yī)；皮膚與液體接觸脫去污染的衣物，用流動清水清洗。在灼傷出涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水，就醫(yī)。眼睛接觸液體時，先用大量水沖洗數(shù)十分鐘，然后就醫(yī)。

技術指標

產(chǎn)品規(guī)格			99.9999%
六氟化硫 (SF6)			＜0.5
氧氣(O2)+ 氬氣(Ar)			＜0.5
一氧化碳(CO)			＜0.5
二氧化碳(CO2)			＜0.5
四氟化碳（CF4）			＜0.5
三氟化氮 (NF3)			＜0.5
四氟化硅(SiF4)			＜0.5
氮氣（N2）			＜1
氫氟酸(HF)			＜5

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