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      產品中心

      PRODUCT CENTER

      產品等級:化學級4.5N 電子級5N
      六氟乙烷 C2F6
      • 純度:99.995%-99.999%
      • 別名:Hexafluoroethane
      • 危險化學品等級:2.2
      • 包裝:43L DOT鋼瓶
      • CAS NO: 76-16-4
      • 標識:不燃
      • 充裝量:30KG/5m3
      • UN NO: UN2193
      • 運輸狀態:液態氣體
      • 氣體壓力:3mpa
      • 閥門型號:CGA660
      • 接口螺紋:右旋 正絲
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      產品介紹

      六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發展微電子工業方面起著重要作用,是加工超大規模集成塊工藝中所必需的介質,又用做制冷和空調的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級壓縮循環中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物,還可用做化學反應中的添氟劑,電氣設備的絕緣劑和高介電強度冷卻劑,器件表面清洗和光纖生產。


      注意事項:

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      理化特性
      化學式C2F6危險貨物編號22034
      理化性質外觀與性狀無色無臭氣體。溶解性微溶于水
      熔點(℃)-101℃  相對密度(水=1)4.7
      沸點(℃)-78℃臨界溫度(℃)19.7℃
      毒性及健康危害侵入途徑吸入。
      健康危害純品幾乎無毒,空氣中濃度較高時,應該佩戴防毒面具。緊急事態搶救或撤離時,建議佩戴自給式呼吸器。避免高濃度吸入
      急救方法

      吸入:脫離現場至空氣新鮮處。呼吸困難給輸氧。呼吸停止時,立即進行人工呼吸。就醫。滅火方法:切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。霧狀水。

       

      技術指標

       

      產品規格

      99.995%

      99.999%

      氧氣(O2)

      <4ppm

      <1ppm

       氮氣(N2)

      <9ppm

      <4ppm

      甲烷 (CH4)

      <5ppm

      <1ppm

      一氧化碳(CO)

      <1ppm

      <1ppm

      二氧化碳(CO2)

      <2ppm

      <1ppm

      水(H2O)

      <7ppm

      <1ppm

      酸度(氯化氫)

      <0.1ppmw

      <0.1ppm

       

       

       

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