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      產(chǎn)品中心

      PRODUCT CENTER

      產(chǎn)品等級:化學(xué)級4.5N 電子級5N
      六氟乙烷 C2F6
      • 純度:99.995%-99.999%
      • 別名:Hexafluoroethane
      • 危險化學(xué)品等級:2.2
      • 包裝:43L DOT鋼瓶
      • CAS NO: 76-16-4
      • 標(biāo)識:不燃
      • 充裝量:30KG/5m3
      • UN NO: UN2193
      • 運(yùn)輸狀態(tài):液態(tài)氣體
      • 氣體壓力:3mpa
      • 閥門型號:CGA660
      • 接口螺紋:右旋 正絲
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      產(chǎn)品介紹

      六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發(fā)展微電子工業(yè)方面起著重要作用,是加工超大規(guī)模集成塊工藝中所必需的介質(zhì),又用做制冷和空調(diào)的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級壓縮循環(huán)中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物,還可用做化學(xué)反應(yīng)中的添氟劑,電氣設(shè)備的絕緣劑和高介電強(qiáng)度冷卻劑,器件表面清洗和光纖生產(chǎn)。


      注意事項(xiàng):

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      理化特性
      化學(xué)式C2F6危險貨物編號22034
      理化性質(zhì)外觀與性狀無色無臭氣體。溶解性微溶于水
      熔點(diǎn)(℃)-101℃  相對密度(水=1)4.7
      沸點(diǎn)(℃)-78℃臨界溫度(℃)19.7℃
      毒性及健康危害侵入途徑吸入。
      健康危害純品幾乎無毒,空氣中濃度較高時,應(yīng)該佩戴防毒面具。緊急事態(tài)搶救或撤離時,建議佩戴自給式呼吸器。避免高濃度吸入
      急救方法

      吸入:脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。呼吸困難給輸氧。呼吸停止時,立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。滅火方法:切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。霧狀水。

       

      技術(shù)指標(biāo)

       

      產(chǎn)品規(guī)格

      99.995%

      99.999%

      氧氣(O2)

      <4ppm

      <1ppm

       氮?dú)?N2)

      <9ppm

      <4ppm

      甲烷 (CH4)

      <5ppm

      <1ppm

      一氧化碳(CO)

      <1ppm

      <1ppm

      二氧化碳(CO2)

      <2ppm

      <1ppm

      水(H2O)

      <7ppm

      <1ppm

      酸度(氯化氫)

      <0.1ppmw

      <0.1ppm

       

       

       

      掃一掃關(guān)注公眾號

      028-67870005
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